Yarıiletken alt tabaka parlatma için yeşil silisyum karbür
Yeşil silisyum karbür (SiC), olağanüstü sertliği (9,2–9,5 Mohs), termal kararlılığı ve kimyasal eylemsizliği nedeniyle yarı iletken alt tabaka parlatmada yaygın olarak kullanılan yüksek saflıkta bir aşındırıcı malzemedir. İşte yarı iletken alt tabaka parlatmadaki rolünün ayrıntılı bir dökümü: 1. Cilalama için Yeşil SiC’nin Temel Özellikleri Yüksek Sertlik : Silisyum (Si), galyum